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上海梭倫水滴角測試儀助力芯片半導體行業接觸角測量

點擊次數:1387    發布時間:2022-09-26 00:00:00

作為美國科諾中國區戰略投資公司,上海梭倫在水滴角測試儀的研制以及技術方面處于地位。這種地位并非自封,而是基于水滴角測量儀器基本原理以及芯片半導體行業對于水滴角測試儀的特殊要求而來的。

從基礎原理來講,水滴角測試儀通常是指采用蒸餾水或超純水作為探針液體,并采用視頻光學方法并通過界面化學的基本分析原理,測試相應的固體材料表面的物理化學性質的分析儀器,屬于界面化學分析儀器的關鍵儀器之一。目前,世界主要水滴角測試儀器廠商包括了德國、芬蘭、美國、日本、韓國以及中國的水滴角測量儀。但是,絕大多數的水滴角測量儀器均是基于非常落后的圓、橢圓、切線法的分析技術而非界面化學的分析技術,比如中國的儀器廠商(除上海梭倫外)、日本和韓國的儀器廠商,德國和芬蘭的儀器廠商以及美國的儀器廠商采用了Young-Laplace方程的分析技術,符合界面化學的基礎分析要求。但是,這種符合的程度也不是很好,主要是由于固體材料的水滴角測試的特殊要求,對于水滴角測試儀器的的要求非常高,特別是對于半導體芯片行業的要求尤其高。如下圖所示,在頂視條件下的晶圓表面的水滴情況如下:

水滴角測試儀

通過如上圖片可以看出,

1、水滴接觸到的位置事實上并非均勻。有的地方有刻蝕位,有的沒有。

2、水滴接觸到的不同位置邊緣出現了明顯的曲線變化,如下圖所示:

水滴角測試儀

3、水滴頂視(正視)時的形狀并非是正圓形。

因而,對于芯片、半導體或PCB板行業而言,水滴角測試儀除了要求必須是采用基本的Young-Laplace方程擬合技術而不是普通的量角器法的圓、橢圓或切線法之外,更為關鍵的技術點在于水滴角測量儀必須是能夠、、靈敏的分析出在側視條件下左、右角度的變化,同時要求樣品臺是可以實現旋轉,即可以測試3D條件下的水滴角測值結果。

這是水滴角測試儀器應用于芯片行業的要求,而液晶屏或手機膜行業通常測試固體表面是玻璃,會不會存在同樣問題?

水滴角測試儀

通過如上圖片可以看出,事實上手機屏也同樣存在著左、右角度不一致或正視條件下不能形成正圓的情況。而手機行業的手機屏或手機膜、液晶屏、OLED的設計要求是:盡量形成左、右角度值更接近的固體表面,這一方面說明材料本身膜的鍍膜均勻度較好、材料更均勻,同時也說明固體表面的清潔度更高。從這個方面來講,左、右水接觸角值對于液晶屏和手機膜的應用的價值更大。而這些更要求水滴角測試儀必須符合:

1、水滴角測試儀必須采用Young-Laplace方程擬合技術,解決重力對測值的影響,讓測值結果更符合界面化學原理,測試數據更為可信。

2、在水滴角測試儀采用Young-Laplace方程擬合技術的基礎上,必須要求能夠的分析出左、右角度值的變化以及3D接觸角測值結果。這就要求水滴角測試儀必須采用阿莎算法(ADSA-RealDrop算法)。

目前,僅上海梭倫提供阿莎算法并擁有國家發明技術。作為中國的民營企業,在美國科諾的戰略投資下,上海梭倫已經成長為行業技術者。我們也愿為中國芯片行業、OLED行業的高精度測量水滴角值提供我們的力量。目前京東方、華為、瑞聲科技、環旭電子、士蘭微等公司已經批量采購上海梭倫的水滴角測試儀,在此,對于合作伙伴的支持,我們表示誠摯的謝意。我們也將繼續努力,不斷提供更符合用戶需求的水滴角測試儀。

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